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Untersuchung des reaktiven Sputterprozesses zur Herstellung von aluminiumdotierten Zinkoxide-Schichten für Silizium-Dünnschicht-solarzellen

Untersuchung des reaktiven Sputterprozesses zur Herstellung von aluminiumdotierten Zinkoxide-Schichten für Silizium-Dünnschicht-solarzellen

By Jürgen Hüpkes

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Publish Date

2006

Publisher

Forschungszentrum Jülich, Zentralbibliothek

Language

ger

Pages

170