Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung
An edition of Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung (1985)
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Publish Date
1985
Publisher
Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt, Sektion Physik/Elektronische Bauelemente
Language
ger
Pages
73
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Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung
Language: ger
Pages: 73
Published In: 1985
Publisher: Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt, Sektion Physik/Elektronische Bauelemente