Tomeki

Capacitive Silicon Resonators

Capacitive Silicon Resonators

By Nguyen Van Toan,Takahito Ono

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Publish Date

2019

Publisher

Taylor & Francis Group

Language

eng

Pages

162

Description:

subjects: Dielectric resonators,  Electric resonators,  Nanoelectromechanical systems,  Semiconductors,  Résonateurs diélectriques,  Résonateurs électriques,  Nanosystèmes électromécaniques,  Semi-conducteurs,  Semiconductor,  TECHNOLOGY,  Electricity,  Electronics,  Circuits,  General,  Microelectronics