Explore Books on
pecvd-verfahren
1-2 of 2 Books
View Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology By Gerhard Franz 
Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology
By Gerhard Franz
View Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf By Oliver Morlok 
Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf
By Oliver Morlok