An edition of Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik (2004)
By Gerhard Franz
Publish Date
2004
Publisher
Springer Berlin Heidelberg
Language
ger
Pages
-
Description:
subjects: Plasmadiagnostik, Niederdruckplasma, Hochfrequenzentladung, Lithographie, Ionenstrahlbearbeitung, Trockenätzen