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plasmadiagnostik

Principles of Plasma Diagnostics

By I. H. Hutchinson

Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology

By Gerhard Franz

Electrical probes for plasma diagnostics

By J. D. Swift

Passive Mikrowellenradiometrie

By Bernd Vowinkel

Optische in situ Meßtechniken bei der Entwicklung und Anwendung von plasmaunterstützten Oberflächentechniken für räumlich ausgedehnte und komplexe Geometrien

By Peter Stratil

Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik

By Gerhard Franz