Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung

An edition of Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung (1985)

Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung

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Publish Date

1985

Publisher

Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt, Sektion Physik/Elektronische Bauelemente

Language

ger

Pages

Description:

subjects: Plasma engineering, Plasma etching, Plasma electrodynamics